Grunnþættirnir sem hafa áhrif á fókusáhrifin í geislastjórnun á leysirskeravélum

1. sjóneinkenni og breytur
(1) . fókus linsuefni og frammistaða
Efnisval:
Kísilgler: Hentar vel fyrir útfjólubláa leysir (ónæmur fyrir mikilli orku, litla frásog) .
Kísil/germanium Crystal: Hentar fyrir CO₂ leysir (10 . 6μm bylgjulengd, mikil innrautt flutning).
Breytt kísil: Hentar fyrir trefjar leysir (1 . 06μm bylgjulengd, góður hitastöðugleiki).
Lykilbreytur:
Brennivídd: Því styttri sem brennivíddin er, því minni er þvermál blettanna (þvermál blettanna ≈ 1 . 22 × bylgjulengd × brennivídd / linsu þvermál), en brennidepillinn (fókus skýrleika) verður grunnari, hentugur fyrir þunnt efni til að skera; Langur brennivídd er hentugur fyrir þykkt efni og forðast að einbeita sér að breytingu af völdum efnayfirvalda.
Þvermál linsu: Því stærra sem þvermálið er, því sterkari er einbeitingargetan, því hærri er orkumörkin, en það mun auka rúmmál sjónkerfisins .
(2) . Nákvæmni og húðun endurskins
Yfirborðs flatness: Yfirborðs ójöfnur endurspeglunarinnar þarf að vera<λ 10="" (λ="" is="" the="" laser="" wavelength),="" otherwise="" it="" will="" cause="" the="" divergence="" angle="" of="" the="" light="" beam="" to="" increase="" and="" the="" focused="" spot="" to="">λ>
Húðunarferli:
CO₂ Laser endurskinsmerki: gullhúð (speglunartíðni> 98%) .
Trefjar leysir endurspegli: mikil speglunhúð (speglunarhraði> 99 . 5%), dregur úr orkutapi.
2. geisla gæði leysir uppspretta
(1) . Laser bylgjulengd
Því styttri sem bylgjulengdin er, því minni sem þvermál einbeittu ljósastaðsins (til dæmis, fyrir útfjólubláan leysir með λ=0.355 μm, getur einbeitti ljósbletturinn verið minna en 10 μm; það er hentugur fyrir nákvæmni vinnslu; fyrir co₂ leysir með λ {{2} μm er ljósblettinn venjulega> 50 μM, og og og og og og og það er, og og og og og það er og og það er, og og og og það er, og og og það er, og og það er, og og það er, og og það er, og og og það er, og og og það er, og og það er, og og það er, og og það er, og og það er, og og og það er, og og og það er, og og og það er, og og og það er, og og og það er, og og og það er, og og það sem er, og og og það er, og og og það er, og og það er, og og og það er, og og og það er Neðri) .
(2) . geislastilling (m² þáttur)
Grunnstilling (TEM₀₀): Geislanum er dreift í Gauss-mynstri og einbeitti ljósbletturinn hefur góða kringlótt og einbeitt orku (m²=1), svo sem hákraft trefjar leysir .
Hærri pöntunarstilling (TEMMN): Orkudreifingin dreifist, einbeitti ljósbletturinn verður stærri og skurðarvirkni minnkar (til dæmis fyrir litla kraft CO₂ leysir, m² ≈ 10-20) .
(3) . Power Stability
Þegar leysiraflinn sveiflast um meira en ± 5%, verður einbeittur orkuþéttleiki óstöðugur, sem leiðir til ósamræmdra skurðardýptar (til dæmis fyrir 10kW trefjar leysiraflssveiflu ± 100W getur það haft áhrif á skurðgæði málma sem eru stærri en 5mm) .
3. Vélræn og hreyfingarstýringarnákvæmni
(1) . Stöðugleiki sjónstígakerfisins
Vélræn uppbygging stífni: titringur leysir höfuðfestingarinnar og vinnanlegt ætti að vera minna en 50 μm; Annars breytist fókusstaðan (til dæmis þegar skurðarhraði er 10 m/mín.
Kælikerfi: Þegar hitastigsbreyting linsunnar/endurskinsspegilsins fer yfir 2 gráðu, mun aflögun hitauppstreymis breyta brennivíddinni (vatnskælt eða loftkælt kerfi þarf að vera með hitastýringarnákvæmni ± 0 . 5 gráðu).
(2) . Árangur kraftmikla fókusakerfisins
Fókus viðbragðshraði: Þegar klippt er þykkt efni eða bogadregið yfirborð ætti fókusbúnaðurinn að ljúka brennivídd aðlögun innan 50 ms (fyrir trefjar leysir sem skera 20 mm kolefnisstál, ætti kraftmikil fókusskekkja að vera <± 0 . 1 mm).
Z-ás staðsetningarnákvæmni: Nákvæmni Z-ás handbókarinnar sem knúin er af servó mótor þarf að ná ± 0 . 01 mm til að forðast fókus hæð frávik.
4. Umhverfi og stoðþættir
(1) . Umhverfishitastig og rakastig
Þegar hitastigið sveiflast um meira en 3 gráðu /klst. Breyting á loftbrotsvísitölu veldur geislanum frá sér (það er ráðlegt að halda hitastigi smiðjunnar við 25 ± 2 gráðu); Þegar rakastigið fer yfir 70%er linsan tilhneigð til að þoka og þarf að útbúa rakakrem .
(2) . loftþéttleiki
Þegar rykstyrkur er meiri en 0 . 5 mg/m³, festist ryk við linsu yfirborðið, sem leiðir til orkutaps yfir 10% (settu rykhlíf + lofthreinsiefni og þurrkaðu linsuna með algeru etanóli reglulega).
(3) . Aukatrygging
Þegar gasþrýstingur sveiflast um meira en 0 . 1MPa, getur gasflæðið truflað geislaslóðina (til dæmis, þegar það er skorið með súrefni, ætti gasþrýstingurinn að vera stöðugur við 0.6-1.0 MPa); Þegar gasið inniheldur olíu- og rakainnihald yfir 50 ppm mun það menga linsuna.
5. Process Parameter samsvörun
(1) . skurðarhraði og fókusstöðu
Þegar skurðarhraðinn er of fljótur (E . g . skurðarhraðinn fyrir 10mm kolefnisstál> 1m/mín.) Þarf að laga fókusinn (færa fókusinn upp um 0 . 5mm) til að forðast gjallöflun; Ef hraðinn er of hægur þarf að lækka fókusinn til að auka svæði hitans sem hefur áhrif.
(2) . yfirborðsástand
Þegar þykkt oxíðlagsins eða olíublettinn á yfirborð efnisins er meiri en 50μm, eykst leysir endurspeglun (til dæmis er endurspeglun ryðgaðs stálplötu 30% hærri en á sléttum stálplötu) og er nauðsynlegt að hreinsa fyrirfram eða auka kraftbætur .
----- Rayther Laser Camila Wang









